| 产品特性：四通道 | 是否进口：否 | 产地：国产 |
| 品牌：普乐斯 | 型号：四通道 | 规格：VPC-400T |
型号 | CPC-400T | VPC-400T | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） | |
PLC | |||
操作系统 | Windows 10 | ||
触摸屏 | 15寸 | ||
整机规格 | 尺寸 | W1000×D1650×H1650mm | |
腔体 | 尺寸 | Φ280×D550mm | |
材质 | 316不锈钢（标配）/铝合金（可选） | ||
料道 | 料道数量 | 4个 | |
料道宽度 | 30-80mm（可任意调节） | ||
料道长度 | 100-2600mm（可任意调节） | ||
UPH | 300-500片/小时（清洗10秒，可根据工艺要求设置） | ||
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 | |
流量计 | MFC+浮子流量计 | 1路MFC，1路浮子流量计；Ar、N2、O2（可选） | |
真空泵 | 机械油式旋片泵 | 1套 | |
发生器 | 中频/射频 | 40KHz，0~500W | 13.56MHz，0~150W |
额定功率 | 整机峰值功率 | 30KW | |
机台供电 | 单相三线式 | AC-3800V | |
选购品 | 干式泵、气浴电极（打孔）、托架、接枝气化仪、防腐密封、腔体加热、加热盘、温度传感器、H2安全阀、慢速泄气阀、慢速抽气阀、钢瓶减压阀、水冷电极、冰水机、模温机、非标法兰、陶瓷紧固件 |
