| 产品特性：料盒 | 是否进口：否 | 产地：国产 |
| 品牌：普乐斯 | 型号：定制 | 规格：定制 |
型号 | PM500L | |
控制系统 | 控制方式 | 全自动控制（自动/手动切换） |
工控机+PLC控制 | ||
操作系统 | Windows | |
触摸屏 | 15寸 | |
整机规格 | 尺寸 | W1460×D1000×H1720mm |
腔体 | 尺寸 | W770×D670×H1160mm |
材质 | 进口铝合金 | |
电极 | 处理面积 | W620×D450mm |
层数 | 7层 | |
载具 | 材质 | 专用金属托架 |
套数 | 1套 | |
真空计 | 皮拉尼式真空计 | 1个 |
流量计 | MFC质量流量控制器 | 5个；Ar、N2、O2、H2、CF4（可选） |
真空泵 | 泵组 | 1套 |
发生器 | 中频 | 40KHz，0~10KW |
额定功率 | 整机峰值功率 | 20KW |
机台供电 | 三相五线式 | AC-380V |
其他 | 工作真空度：20-60Pa，真空泵极限压力：4.0×10-1Pa，抽真空时间：≤100S，破真空时间： 20-40S |
